中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告-CC规范网

文档部分截图

一、项目编号：OITC-G250303051（招标文件编号：OITC-G250303051）

二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：浙江求是半导体设备有限公司

供应商地址：浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号

中标（成交）金额：538.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	服务名称	服务范围	服务要求	服务时间	服务标准
1	浙江求是半导体设备有限公司	配套专用PVD模块组件加工服务	详见招标文件	包括晶圆升降单元，晶圆传输单元及后处理单元，腔体真空度≤5.0×10-7 Torr，泄漏率：≤1×10-8 std. cc/sec He，温度波动≤±1℃	12个月	详见招标文件

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

张涛曹劲夫井传棣肖石林母志强（用户代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：1980号文

本项目代理费总金额：0.000000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法，中标供应商的评审综合得分为90.80分。

附件：招标文件

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

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