各有关单位：

由广州南砂晶圆半导体技术有限公司提出，并主责起草的《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法  KOH腐蚀结合图像识别法》和《碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法》两项团体标准已完成征求意见稿的编制，根据《CASAS管理和标准制修订细则》有关规定，为保证标准的科学性、严谨性和适用性，现公开征求意见。

请各有关单位及专家对本标准提出宝贵建议和意见，于2021年9月6日前以邮件的形式将《团体标准征求意见反馈表》反馈至联盟秘书处。


特此通知。

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
2021年8月6日

 

秘书处邮箱：casas@casa-china.cn

秘书处电话：010-82387600-208

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知.pdf

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知团体标准征求意见反馈表.docx

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知CASA 014—202X 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法（征求意见稿）.pdf

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟关于《碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》等2项团体标准征求意见的通知CASA 013—202X 碳化硅衬底及外延片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法（征求意见稿）.pdf

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